Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials

Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann

Anno: 1997
Rilegatura: Hardback
Pagine: 337 p.
Testo in English
Dimensioni: 246 x 186 mm
Peso: 724 gr.
  • EAN: 9780471138273
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