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Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie - cover

LIBRO INGLESE

Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie

Anton Heuberger (Curatore)

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, 2012

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Descrizione

Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich für jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; für den Studierenden ebenso wie für den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.

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Dettagli

Curatore:

Anton Heuberger

Editore:

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Anno:

2012

Rilegatura:

Paperback / softback

Pagine:

501 p.

Testo in German

Dimensioni:

244 x 170 mm

EAN:

9783642466229

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