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EBOOK IN LINGUA STRANIERA

Nanopositioning Technologies

Springer, 2015

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Descrizione

This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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Dettagli

Curatore:

Xinyu Liu, Changhai Ru, Yu Sun

Anno edizione:

2015

Editore:

Springer

Formato:

EPUB2 con Adobe DRM

Lingua:

Inglese

Compatibilità:

Tutti i dispositivi (eccetto Kindle) Scopri di più

Layout:

Reflowable

EAN:

9783319238531

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