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Novel Silicon Based Technologies: Conference Proceedings - cover

LIBRO INGLESE

Novel Silicon Based Technologies: Conference Proceedings

R. A. Levy (Curatore)

Kluwer Academic Publishers, 1991

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Eight contributions address: GaAs on Si, ion beam synthesis in silicon, ion beam processing of chemical vapor deposited silicon layers, technology and devices for silicon based three-dimensional circuits, integrated fabrication of micromechanical structures on silicon, micromachining of silicon for

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Dettagli

Curatore:

R. A. Levy

Editore:

Kluwer Academic Publishers

Collana:

NATO Science Series E:

Anno:

1991

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

292 p.

Testo in English

Dimensioni:

234 x 156 mm

Peso:

588 gr.

EAN:

9780792311126

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