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Technologie hochintegrierter Schaltungen - Dietrich Widmann,Hermann Mader,Hans Friedrich - cover
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Technologie hochintegrierter Schaltungen
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Technologie hochintegrierter Schaltungen - Dietrich Widmann,Hermann Mader,Hans Friedrich - cover
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Descrizione


Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle, modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, AEtztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.
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Dettagli

Halbleiter-Elektronik
1996
Hardback
366 p.
Testo in German
235 x 155 mm
9783540593577
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