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CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet: Degradation Behavior and Damage Mechanisms - Flora Li,Arokia Nathan - cover
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CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet: Degradation Behavior and Damage Mechanisms
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CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet: Degradation Behavior and Damage Mechanisms - Flora Li,Arokia Nathan - cover
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Descrizione


As the deep-ultraviolet (DUV) laser technology continues to mature, an increasing number of industrial and manufacturing applications are emerging. For example, the new generation of semiconductor inspection systems is being pushed to image at increasingly shorter DUV wavelengths to facilitate inspection of deep sub-micron features in integrated circuits. DUV-sensitive charge-coupled device (CCD) cameras are in demand for these applications. Although CCD cameras that are responsive at DUV wavelengths are now available, their long-term stability is still a major concern. This book describes the degradation mechanisms and long-term performance of CCDs in the DUV, along with new results of device performance at these wavelengths.
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Dettagli

Microtechnology and MEMS
2005
Hardback
232 p.
Testo in English
235 x 155 mm
9783540226802
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