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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies - cover

LIBRO INGLESE

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

Markku Tilli (Curatore)

Mervi Paulasto-Kroeckel (Curatore)

Elsevier Science Publishing Co Inc, 2020

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Descrizione

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, Third Edition is a comprehensive guide to MEMS materials, technologies, and manufacturing with a particular emphasis on silicon as the most important starting material used in MEMS. The book explains the fundamentals, properties (mechanical, electrostatic, optical, etc.), materials selection, preparation, modeling, manufacturing, processing, system integration, measurement, and materials characterization techniques of MEMS structures. The third edition of this book provides an important up-to-date overview of the current and emerging technologies in MEMS making it a key reference for MEMS professionals, engineers, and researchers alike, and at the same time an essential education material for undergraduate and graduate students.

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Dettagli

Curatore:

Markku Tilli, Mervi Paulasto-Kroeckel

Editore:

Elsevier Science Publishing Co Inc

Collana:

Micro & Nano Technologies

Anno:

2020

Rilegatura:

Paperback / softback

Pagine:

1026 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 191 mm

Peso:

2670 gr.

EAN:

9780128177860

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