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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Klaus Graff - cover

LIBRO INGLESE

Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication

Name: Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
Price: 137.20 EUR
Availability: InStock
Author: Klaus Graff
ISBN: 3642629652

di Klaus Graff (Autore)

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, 2012

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Descrizione

Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication treats the transition-metal impurities generated during the fabrication of silicon samples and devices. The different mechanisms responsible for contamination are discussed, and a survey is given of their impact on device performance. The specific properties of the main and rare impurities in silicon are examined, as well as the detection methods and requirements in modern technology. Finally, impurity gettering is studied along with modern techniques to determine the gettering efficiency. In all of these subjects, reliable and up-to-date data are presented. This monograph provides a thorough review of the results of recent scientific investigations, as well as the relevant data and properties of the various metal impurities in silicon. The new edition includes important recent data and a number of new tables.

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Dettagli

Autore:

Klaus Graff

Editore:

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Collana:

Springer Series in Materials Science

Anno:

2012

Rilegatura:

Paperback / softback

Pagine:

270 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9783642629655

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