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Nanolithography: A Borderland between STM, EB, IB, and X-Ray Lithographies - cover

LIBRO INGLESE

Nanolithography: A Borderland between STM, EB, IB, and X-Ray Lithographies

M. Gentili (Curatore)

Carlo Giovannella (Curatore)

Springer, 1994

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Descrizione

Success in the fabrication of structures at the nanometer length scale has opened up a new horizon to condensed matter physics: the study of quantum phenomena in confined boxes, wires, rings, etc. A new class of electronic devices based on this physics has been proposed, with the promise of a new functionality for ultrafast and/or ultradense electronic circuits. Such applications demand highly sophisticated fabrication techniques, the crucial one being lithography. Nanolithography contains updated reviews by major experts on the well established techniques -- electron beam lithography (EBL), X-ray lithography (XRL), ion beam lithography (IBL) -- as well as on emergent techniques, such as scanning tunnelling lithography (STL).

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Dettagli

Curatore:

M. Gentili, Carlo Giovannella

Editore:

Springer

Collana:

NATO Science Series E:

Anno:

1994

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

216 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9780792327943

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