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Nanopositioning Technologies: Fundamentals and Applications - cover

LIBRO INGLESE

Nanopositioning Technologies: Fundamentals and Applications

Changhai Ru (Curatore)

Xinyu Liu (Curatore)

Springer International Publishing AG, 2016

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Descrizione

This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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Dettagli

Curatore:

Changhai Ru, Xinyu Liu

Editore:

Springer International Publishing AG

Anno:

2016

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

409 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9783319238524

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