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Process Variations in Microsystems Manufacturing - Michael Huff - cover

LIBRO INGLESE

Process Variations in Microsystems Manufacturing

Name: Process Variations in Microsystems Manufacturing
Price: 202.10 EUR
Availability: InStock
Author: Michael Huff
ISBN: 3030405583

di Michael Huff (Autore)

Springer Nature Switzerland AG, 2020

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This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps. The book places an emphasis on the process variations in the device dimensions resulting from these commonly used processing steps. This will be followed by coverage of commonly used metrology methods, process integration and variations in material properties, device parameter variations, quality assurance and control methods, and design methods for handling process variations. A detailed analysis of future methods for improved microsystems manufacturing is also included. This book is a valuable resource for practitioners, researchers and engineers working in the field as well as students at either the undergraduate or graduate level.

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Dettagli

Autore:

Michael Huff

Editore:

Springer Nature Switzerland AG

Collana:

Microsystems and Nanosystems

Anno:

2020

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

521 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9783030405588

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