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Technologien der Mikrosysteme - Ha Duong Ngo - cover

LIBRO INGLESE

Technologien der Mikrosysteme

Name: Technologien der Mikrosysteme
Price: 50.20 EUR
Availability: InStock
Author: Ha Duong Ngo
ISBN: 3658374977

di Ha Duong Ngo (Autore)

Springer Fachmedien Wiesbaden, 2023

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Descrizione

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

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Dettagli

Autore:

Ha Duong Ngo

Editore:

Springer Fachmedien Wiesbaden

Anno:

2023

Rilegatura:

Paperback / softback

Pagine:

246 p.

Testo in German

Dimensioni:

240 x 168 mm

EAN:

9783658374976

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