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Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications - Lars Rebohle,Slawomir Prucnal,Denise Reichel - cover

LIBRO INGLESE

Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications

Name: Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications
Price: 168.00 EUR
Availability: InStock
Author: Lars Rebohle
ISBN: 3030232980

di Lars Rebohle (Autore)

Slawomir Prucnal (Autore)

Denise Reichel (Autore)

Springer Nature Switzerland AG, 2019

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Descrizione

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed in detail and allow the reader to properly plan and perform their own thermal processing. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey. Several case studies of simulated temperature profiles in real material systems give the reader the necessary insight into the underlying physics and simulations. This book is a valuable reference work for both novice and advanced users.

Dettagli

Autore:

Lars Rebohle, Slawomir Prucnal, Denise Reichel

Editore:

Springer Nature Switzerland AG

Collana:

Springer Series in Materials Science

Anno:

2019

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

288 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9783030232986

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