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Introductory MEMS: Fabrication and Applications - Thomas M. Adams,Richard A. Layton - cover

LIBRO INGLESE

Introductory MEMS: Fabrication and Applications

Name: Introductory MEMS: Fabrication and Applications
Price: 128.10 EUR
Availability: InStock
Author: Thomas M. Adams
ISBN: 0387095101

di Thomas M. Adams (Autore)

Richard A. Layton (Autore)

Springer-Verlag New York Inc., 2009

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Descrizione

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on MEMS transducers: principles of operation, modeling from first principles, and a detailed look at commercialized MEMS devices, in addition to microfluidics. Multiple field-tested laboratory exercises are included, designed to facilitate student learning about the fundamentals of microfabrication processes. References, suggested reading, review questions, and homework problems are provided at the close of each chapter. Introductory MEMS: Fabrication and Applications is an excellent introduction to the subject, with a tested pedagogical structure and an accessible writing style suitable for students at an advanced undergraduate level across academic disciplines.

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Dettagli

Autore:

Thomas M. Adams, Richard A. Layton

Editore:

Springer-Verlag New York Inc.

Anno:

2009

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

440 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9780387095103

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