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Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges - cover

LIBRO INGLESE

Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges

Jarek Dabrowski (Curatore)

Eicke R. Weber (Curatore)

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, 2004

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Descrizione

Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.

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Dettagli

Curatore:

Jarek Dabrowski, Eicke R. Weber

Editore:

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Collana:

Springer Series in Materials Science

Anno:

2004

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

490 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9783540204817

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