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Rapid Thermal Processing of Semiconductors - Victor E. Borisenko,Peter J. Hesketh - cover

LIBRO INGLESE

Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Name: Rapid Thermal Processing of Semiconductors
Price: 311.60 EUR
Availability: InStock
Author: Victor E. Borisenko
ISBN: 148991806X

di Victor E. Borisenko (Autore)

Peter J. Hesketh (Autore)

Springer-Verlag New York Inc., 2013

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Descrizione

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

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Dettagli

Autore:

Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh

Editore:

Springer-Verlag New York Inc.

Collana:

Microdevices

Anno:

2013

Rilegatura:

Paperback / softback

Pagine:

358 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9781489918062

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