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Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications - Hiroyuki Fujiwara - cover

LIBRO INGLESE

Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications

Name: Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications
Price: 286.95 EUR
Availability: InStock
Author: Hiroyuki Fujiwara
ISBN: 0470016086

di Hiroyuki Fujiwara (Autore)

John Wiley & Sons Inc, 2007

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Descrizione

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

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Dettagli

Autore:

Hiroyuki Fujiwara

Editore:

John Wiley & Sons Inc

Anno:

2007

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

392 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 160 mm

Peso:

765 gr.

EAN:

9780470016084

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