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Chemical Vapor Deposition Polymerization: The Growth and Properties of Parylene Thin Films - Jeffrey B. Fortin,Toh-Ming Lu - cover

LIBRO INGLESE

Chemical Vapor Deposition Polymerization: The Growth and Properties of Parylene Thin Films

Name: Chemical Vapor Deposition Polymerization: The Growth and Properties of Parylene Thin Films
Price: 133.20 EUR
Availability: InStock
Author: Jeffrey B. Fortin
ISBN: 1402076886

di Jeffrey B. Fortin (Autore)

Toh-Ming Lu (Autore)

Springer-Verlag New York Inc., 2003

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Descrizione

Chemical Vapor Deposition Polymerization - The Growth and Properties of Parylene Thin Films is intended to be valuable to both users and researchers of parylene thin films. It should be particularly useful for those setting up and characterizing their first research deposition system. It provides a good picture of the deposition process and equipment, as well as information on system-to-system variations that is important to consider when designing a deposition system or making modifications to an existing one. Also included are methods to characterizae a deposition system's pumping properties as well as monitor the deposition process via mass spectrometry. There are many references that will lead the reader to further information on the topic being discussed. This text should serve as a useful reference source and handbook for scientists and engineers interested in depositing high quality parylene thin films.

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Dettagli

Autore:

Jeffrey B. Fortin, Toh-Ming Lu

Editore:

Springer-Verlag New York Inc.

Anno:

2003

Rilegatura:

Hardback

Pagine:

102 p.

Testo in English

Dimensioni:

235 x 155 mm

EAN:

9781402076886

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