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CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155 - cover
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CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155
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CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155 - cover
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Descrizione


To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into conventional Si CMOS processing at an unprecedented rate. Presentations collected here focus on understanding, from a chemistry and materials perspective, the mechanism of interface formation and defects at interfaces, for both conventional Si and alternative channel (Ge or III-V) systems. Several papers address reliability concerns for high-k/metal gate (basic physical models, charge trapping, etc.), while others cover characterization of the thin films and interfaces which comprise the gate stack. Topics include: advanced Si-based gate stacks; and alternate channel materials.
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Dettagli

MRS Proceedings
2009
Hardback
194 p.
Testo in English
236 x 160 mm
430 gr.
9781605111285
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