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Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies

EBOOK IN LINGUA STRANIERA

Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies

di Cor Claeys (Autore)

Eddy Simoen (Autore)

Springer, 2018

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Descrizione

This book provides a unique review of various aspects of metallic contamination in Si and Ge-based semiconductors. It discusses all of the important metals including their origin during crystal and/or device manufacturing, their fundamental properties, their characterization techniques and their impact on electrical devices’ performance. Several control and possible gettering approaches are addressed. The book offers a valuable reference guide for all researchers and engineers studying advanced and state-of-the-art micro- and nano-electronic semiconductor devices and circuits. Adopting an interdisciplinary approach, it combines perspectives from e.g. material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.

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Dettagli

Autore:

Cor Claeys, Eddy Simoen

Anno edizione:

2018

Editore:

Springer

Formato:

EPUB2 con Adobe DRM

Testo in en

Compatibilità:

Tutti i dispositivi (eccetto Kindle) Scopri di più

Layout:

Reflowable

EAN:

9783319939254

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