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Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography: Metasurface pellicles, phase/polarization pre-distortion, mask 3D shadowing compensation, Zernike budget tuning, thermal-radiative co-design, 2 nm/3 nm EPE/MEEF reduction With Python - H Wu - cover

LIBRO INGLESE

Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography: Metasurface pellicles, phase/polarization pre-distortion, mask 3D shadowing compensation, Zernike budget tuning, thermal-radiative co-design, 2 nm/3 nm EPE/MEEF reduction With Python

Name: Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography: Metasurface pellicles, phase/polarization pre-distortion, mask 3D shadowing compensation, Zernike budget tuning, thermal-radiative co-design, 2 nm/3 nm EPE/MEEF reduction With Python
Price: 122.61 EUR
Availability: InStock
Author: H Wu
ISBN: 8279048790

di H Wu (Autore)

Independently Published, 2025

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Dettagli

Autore:

H Wu

Editore:

Independently Published

Collana:

Computational Mathematics Library

Anno:

2025

Rilegatura:

Paperback / softback

Pagine:

350 p.

Testo in English

Dimensioni:

279 x 216 mm

Peso:

812 gr.

EAN:

9798279048793

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