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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide - Harland G. Tompkins,William A. McGahan - cover
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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide
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Descrizione


While single wave ellipsometry has been around for years, spectroscopic ellipsometry is fast becoming the method of choice for measuring the thickness and optical properties of thin films. This book provides the first practical introduction to spectroscopic ellipsometry and the related techniques of reflectometry. A guide for practitioners and researchers in a variety of disciplines, it addresses a broad range of applications in physics, chemistry, electrical engineering, and materials science.
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Dettagli

1999
Hardback
248 p.
Testo in English
240 x 160 mm
533 gr.
9780471181729
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