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Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope

EBOOK IN LINGUA STRANIERA

Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope

di Huiliang Cao (Autore)

Springer, 2023

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Descrizione

This book introduces the key technologies in the manufacture of double-mass line vibrating silicon micromechanical gyroscope, respectively. The design of gyrostructure, detection technology, orthogonal correction technology, the influence of temperature and the design of measurement and control system framework are introduced in detail, with illustrations for easy understanding. It presents the principle, structure and related technology of silicon-based MEMS gyroscope. The content enlightens the researchers of silicon-based MEMS gyroscopes and gives readers a new understanding of the structural design of silicon-based gyroscopes and the design of dual-mass gyroscopes.

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Dettagli

Autore:

Huiliang Cao

Anno edizione:

2023

Editore:

Springer

Formato:

EPUB3 con Adobe DRM

Testo in en

Compatibilità:

Tutti i dispositivi (eccetto Kindle) Scopri di più

Layout:

Reflowable

EAN:

9789811992476

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